1., 總結(jié)了微機(jī)械懸臂梁的靜電、壓電、熱、電磁等驅(qū)動(dòng)技術(shù)，推導(dǎo)了計(jì)及邊緣效應(yīng)的梳狀靜電驅(qū)動(dòng)器靜電力公式。

2.總結(jié)了微機(jī)械懸臂梁的靜電、壓電、熱、電磁等驅(qū)動(dòng)技術(shù)，推導(dǎo)了計(jì)及邊緣效應(yīng)的梳狀靜電驅(qū)動(dòng)器靜電力公式。

3.總結(jié)了微機(jī)械懸臂梁的靜電、壓電、熱、電磁等驅(qū)動(dòng)技術(shù)，推導(dǎo)了計(jì)及邊緣效應(yīng)的梳狀靜電驅(qū)動(dòng)器靜電力公式。

4.他們驚訝地發(fā)現(xiàn)，懸臂彎曲的角度和液體的粘稠度具有線性關(guān)系，而懸臂的彎曲度可以通過(guò)電子設(shè)備讀出。